電子級(jí)磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)廣泛使用的一種超高純化學(xué)試劑，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻，包括基片涂膠前的清洗，光刻過(guò)程中的蝕刻及最終去膠以及硅片本身制作過(guò)程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導(dǎo)體膜蝕刻、導(dǎo)體膜蝕刻、有機(jī)材料蝕刻等。
電子級(jí)試劑是芯片制造過(guò)程中十分重要的原材料。隨著芯片制程的不斷變小，芯片生產(chǎn)工藝對(duì)磷酸質(zhì)量要求越來(lái)越高，生產(chǎn)難度也越來(lái)越大。此前電子級(jí)磷酸只有美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)等少數(shù)幾個(gè)國(guó)家可以生產(chǎn)，直到2019年才有國(guó)內(nèi)廠家取得技術(shù)突破，可以自行生產(chǎn)電子級(jí)磷酸，并將之出口到三星等國(guó)際知名芯片制造廠商。無(wú)色粘稠液體（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔點(diǎn)：42.35℃，沸點(diǎn)：158℃，黏度：85%水溶液。電子級(jí)磷酸主要用于大規(guī)模集成電路（IC）、薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻；還可制備高純磷酸鹽。