在半導(dǎo)體行業(yè)中,離子色譜柱主要用于半導(dǎo)體原材料、超純水以及廢液中痕量離子的精準(zhǔn)檢測與分析,是半導(dǎo)體制程管控、產(chǎn)品純度保障及環(huán)保合規(guī)的核心耗材之一。例如,半導(dǎo)體芯片制造過程中,超純水作為關(guān)鍵清洗試劑,其純度直接影響芯片的良率和性能,水中痕量的陰離子和陽離子會導(dǎo)致芯片表面出現(xiàn)缺陷、氧化失效等問題;離子色譜柱可實現(xiàn)對這些痕量離子的高靈敏度、高分離度檢測,精準(zhǔn)把控離子含量,為制程優(yōu)化和產(chǎn)品質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
安譜實驗推出多款高性能離子色譜柱,覆蓋陰離子、陽離子及專用分析柱,產(chǎn)品體系完整,配套保護(hù)柱齊全,兼容主流離子色譜儀,支持從常規(guī)無機(jī)離子到復(fù)雜有機(jī)離子的檢測需求,是半導(dǎo)體行業(yè)檢測分析的可靠選擇。
應(yīng)用一:
超純水中7種無機(jī)陰離子的分析
(碳酸根淋洗液)
色譜柱:CNWSep CS-P3 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm,5μm(貨號:LAEQ-4015N3)
檢測器:電導(dǎo)檢測器 抑制電流:40mA
淋洗液:4.5mM Na2CO3 +1mM NaHCO3
流速:1.0mL/min
進(jìn)樣體積:25μL
柱溫:30℃
應(yīng)用二:
超純水中10種無機(jī)陰離子的分析
(碳酸根淋洗液)
色譜柱:CNWSep CS-P4 陰離子交換色譜柱 4.0×250mm,5μm(貨號:LAEQ-4025N4)
檢測器:電導(dǎo)檢測器 抑制電流:40mA
淋洗液:4.5mM Na2CO3 +1mM NaHCO3
流速:1.0mL/min
進(jìn)樣體積:25μL
柱溫:30℃
應(yīng)用三:
超純水中無機(jī)陰離子的分析
(氫氧根淋洗液)
色譜柱:CNWSep AS-P1 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm,5μm(貨號:LAEQ-4015M1)
檢測器:電導(dǎo)檢測器 抑制電流:72 mA
淋洗液:20mM KOH
流速:1.2mL/min
進(jìn)樣體積:25μL
柱溫:30℃
色譜柱:CNWSep MS-P3 非抑制陽離子交換色譜柱 4.6×250mm,5μm(貨號:LAEQ-4625L3)
檢測器:電導(dǎo)檢測器 池溫:35℃
淋洗液:3mM MSA
流速:1.0mL/min
進(jìn)樣體積:25μL
柱溫:30℃
注:更多CNWSep離子柱產(chǎn)品信息及應(yīng)用實例,請詢安譜實驗銷售人員