半導(dǎo)體光刻膠旋涂制程中,氣泡殘留、涂覆縮孔、膜層厚薄不均、顯影線條粗糙是制約晶圓良率的核心難題,吉和昌生產(chǎn)銷售的改性癸炔二醇聚醚 TL-J40A/J65A( 2,4,7,9 - 四甲基 - 5 - 癸炔 - 4,7 - 二醇環(huán)氧乙烷加成物,CAS號(hào)9014-85-1) 依托雙子型對(duì)稱分子結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)潤(rùn)濕、消泡、顏料分散三合一,有效破解傳統(tǒng)助劑潤(rùn)濕與消泡無(wú)法兼容的行業(yè)痛點(diǎn),成為光刻膠配方核心功能性助劑。

TL-J40A/J65A主體為 2,4,7,9 - 四甲基 - 5 - 癸炔 - 4,7 - 二醇環(huán)氧乙烷加成物,HLB 梯度差異化設(shè)計(jì)適配不同膠系配方需求。
TL-J40A(HLB=8)親水親油均衡,可快速下調(diào)光刻膠動(dòng)靜態(tài)表面張力,高效抑制配料、旋涂階段氣泡生成,強(qiáng)效潤(rùn)濕硅片基材,杜絕針孔、魚(yú)眼缺陷,適配溶劑型、中低含水光刻膠體系,少量添加即可優(yōu)化膠液鋪展效果。TL-J65A(HLB=13)水溶性突出,濁點(diǎn) 63~67℃,耐強(qiáng)酸耐高溫,在前烘、堿性顯影高溫強(qiáng)堿環(huán)境中體系穩(wěn)定,長(zhǎng)效優(yōu)化流平,多用于水性光刻膠、LCD 彩色光刻膠與配套顯影液配方。
產(chǎn)品不含 APEO、重金屬與硅類雜質(zhì),低 VOC 無(wú)離子析出,符合 FDA 電子化學(xué)品管控標(biāo)準(zhǔn),不會(huì)污染感光樹(shù)脂、引發(fā)曝光不良,兼顧環(huán)保與制程穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于 PCB 光刻膠、半導(dǎo)體 g/i 線光刻膠、厚膜光刻膠等品類,精簡(jiǎn)助劑復(fù)配種類,切實(shí)提升光刻成品良率。