半導(dǎo)體、微電子、鍍膜、平模板等制造工藝使用的各種真空裝置有真空用機(jī)器人和電機(jī)等各種自動(dòng)化設(shè)備。 這些機(jī)械產(chǎn)品的回轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)是利用機(jī)械主要零件之一的軸承作支承的。在真空中使用的軸承有滾動(dòng)軸承 、滑動(dòng)軸承、磁流體軸承等 ，但從可靠性 、采購(gòu)性、操作性、尺寸、價(jià)格等方面來(lái)看 ，以滾動(dòng)軸承的使用量。 滾動(dòng)軸承在運(yùn)行時(shí)，有必要使用耐真空型潤(rùn)滑劑 ，滾動(dòng)軸承的性能在很大程度上受制于潤(rùn)滑劑的性能。 為此 ，PSEINU公司多年來(lái)一直持續(xù)進(jìn)行真空環(huán)境下滾動(dòng)軸承潤(rùn)滑技術(shù)的研究 ，為改善真空機(jī)械的性能和可靠性而不懈努力。 本文介紹本公司真空環(huán)境下潤(rùn)滑劑的評(píng)價(jià)方法 ，同時(shí)，介紹通過(guò)試驗(yàn)取得的真空軸承潤(rùn)滑技術(shù) 。在真空環(huán)境下，由于環(huán)境氣壓低 ，希望采用蒸氣壓低 (在真空中不易蒸發(fā))的潤(rùn)滑劑。作為主要的潤(rùn)滑劑 ，有固體潤(rùn)滑劑和真空潤(rùn)滑脂 。 固體潤(rùn)滑劑是金 、銀等軟質(zhì)金屬或二硫化鉬等層狀結(jié)構(gòu)物質(zhì) ，在軸承球 、內(nèi)圈、外圈的表面上形成膜狀使用 。 真空潤(rùn)滑脂采用蒸 氣壓低的PFPE基礎(chǔ)油 (PerfluoropolyetherOil)等，和通常的潤(rùn)滑脂一樣 ，用封人軸承的方式使用 。 由于PFPE油是液體 ，其蒸氣壓比固體潤(rùn)滑劑稍大。為此 ，對(duì)于高真空、高溫的用途 ，宜采用膏體潤(rùn)滑劑。Pseinu(比瑟奴) T.GREASE-45通用型真空軸承潤(rùn)滑脂 是基于蒸汽壓極低的環(huán)戊烷基礎(chǔ)油，并添加獨(dú)特的聚合物系統(tǒng)配制而成的。專門(mén)為真空條件下、的各種軸承、絲桿、齒輪、閥門(mén)、鏈條、墊片、O型圈的長(zhǎng)效密封和潤(rùn)滑。具有良好的高溫穩(wěn)定性和真空穩(wěn)定性；在遇到機(jī)械剪力時(shí)，表現(xiàn)出超凡的耐久性和穩(wěn)定性；極強(qiáng)的化學(xué)惰性，不與強(qiáng)堿、強(qiáng)酸、溶劑等物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)；能在軸承滾道內(nèi)形成穩(wěn)定的潤(rùn)滑油膜和抗磨保護(hù)層；優(yōu)異的承載能力， 與大多數(shù)橡膠和塑料相容。應(yīng)用于真空條件下的（滑動(dòng)、滾動(dòng)軸承、滾珠絲桿、導(dǎo)軌、滑塊、旋轉(zhuǎn)部件、螺桿機(jī)構(gòu)、鏈條、閥桿、特種馬達(dá)）等。如：真空鍍膜機(jī)、真空絲印機(jī)、真空刷板機(jī)、真空泵。另一方面，與固體潤(rùn)滑劑相比真空潤(rùn)滑脂又有如下一些特點(diǎn) ：(1)由于能封入所有的軸承 ，適合使用的軸承種類非常多。 (2)在軸承內(nèi)的接觸部位 ，由于真空潤(rùn)滑脂的容許接觸應(yīng)力比固體潤(rùn)滑劑高 ，所以軸承的承載能力大。 (3)價(jià)格便宜。 為此 ，作為真空潤(rùn)滑劑 ，以使用真空潤(rùn)滑脂為多。以下介紹 以潤(rùn)滑脂為主的潤(rùn)滑技術(shù)概況。