NPE-4000（A）全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述：NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到z大可達(dá)6” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來(lái)產(chǎn)生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢(shì).樣品臺(tái)可以通過(guò)RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵，腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個(gè)MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無(wú)論是等離子強(qiáng)度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來(lái)獲得各種沉積參數(shù)。
NPE-4000（A）全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用：
1. 等離子誘導(dǎo)表面改性：就是通常所說(shuō)的用等離子實(shí)現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)
2. 等離子清洗：去除有機(jī)污染物
3. 等離子聚合：對(duì)材料表面產(chǎn)生聚合反應(yīng)
4. 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石)，以及其它薄膜
5. CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長(zhǎng)：在需要的位置生長(zhǎng)CNT或石墨烯。
特點(diǎn)：
· 立式系統(tǒng)
· 自動(dòng)上下載片，帶預(yù)真空鎖
· 不銹鋼或鋁制腔體
· 極限真空可達(dá)10-7Torr
· RF淋浴頭，HCD或微波等離子源
· 高達(dá)6”(150mm)直徑的樣品臺(tái)
· RF射頻偏壓樣品臺(tái)
· 水冷樣品臺(tái)
· 可加熱到的800 °C樣品臺(tái)
· 加熱的氣體管路
· 加熱的液體傳送單元
· 抗腐蝕的渦輪分子泵組
· z大可支持到8MFC
· 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
· 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)
· 完整的安全聯(lián)鎖
關(guān)鍵字： 進(jìn)口ICPECVD;進(jìn)口全自動(dòng)PECVD;等離子化學(xué)氣相沉積;進(jìn)口等離子體PECVD;等離子化學(xué)氣相沉積;
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸，香港，臺(tái)灣和澳門)的客戶，同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。
那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó)，該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。
自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)