徐州博康信息化學(xué)品有限公司位于江蘇省邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)，是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈。 公司擁有5000平方研發(fā)中心，位于松江漕河涇科技綠洲，研發(fā)團(tuán)隊(duì)200余人，博士和碩士占比50%以上。配置有KrF Nikon S204，I9，I12，ACT8 track，日立CDSEM等先進(jìn)光刻檢測設(shè)備，以及其它理化檢測設(shè)備如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。 公司產(chǎn)品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品。 目前已成功開發(fā)出40+個中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠， KrF正負(fù)型光刻膠，I線正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠，應(yīng)用于IC集成電路制造多個環(huán)節(jié)，服務(wù)客戶超100家。 公司承擔(dān)了國家“02專項(xiàng)”中的子課題“ArF光刻膠單體產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”、國家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項(xiàng)目、江蘇省科技成果轉(zhuǎn)化等項(xiàng)目。目前公司所從事中高端光刻膠單體級光刻膠生產(chǎn)技術(shù)處于國內(nèi)先進(jìn)，獲批江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品5種，中國好技術(shù)1項(xiàng)，江蘇省科學(xué)技術(shù)二等獎1項(xiàng)，江蘇省專精特新產(chǎn)品1種，江蘇省兩新產(chǎn)品2種。徐州博康榮獲國家高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新