中文名：緩沖氧化物蝕刻劑 (BOE) 6:1

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 6:1

貨號(hào)：B487578

產(chǎn)品介紹：

緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）是一種用于微細(xì)加工的液體腐蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜。它是氟化銨（NH4F）和氫氟酸（HF）等緩沖液的混合物。濃縮的 HF 蝕刻二氧化硅的速度太快，不能很好地進(jìn)行工藝控制，同時(shí)也會(huì)剝落用于光刻圖案化的光刻膠。BOE 6:1 is 6 parts by volume 40% ammonium fluoride and 1 part by volume 49% HF.

應(yīng)用

緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）6：1可用于柵極光刻（gate photolithography）的AlGaN / GaN基高電子遷移率晶體管的氧化物去除。它可用于緩沖氧化物蝕刻劑法，制造微型生物芯片。

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