六甲基二硅氮烷中文同義詞1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺;藥用硅氮烷;六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷電子級(jí);六甲基二硅基胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷英文名稱Hexamethyldisilazane英文同義詞((CH3)3Si)2NH;1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan;1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin;BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE;HMDS;hexamethyldisilizane;HEXAMETHYLDISILYLAMINE;HEXAMETHYLDISILAZANECAS號(hào)999-97-3分子式C6H19NSi2分子量161.39EINECS號(hào)213-668-5相關(guān)類(lèi)別硅化合物;烷基硅烷;中間體;化工產(chǎn)品-有機(jī)化工;其他生化試劑;有機(jī)原料;化工原料;有機(jī)化工原料;硅烷試劑;有機(jī)硅;有機(jī)金屬試劑;其它硅烷;有機(jī)化工;醫(yī)藥原料;工業(yè)原料;特種有機(jī)合成。阿米卡星、盤(pán)尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過(guò)程中的甲硅烷基化;醫(yī)藥類(lèi);有機(jī)化工原料;化工原料-塑料類(lèi);中間體類(lèi);有機(jī)硅烷;烴類(lèi);化工材料;增粘劑;精細(xì)化工原料;化工原料-表面活性劑;六甲;有機(jī)中間體;硅油;有機(jī)原料;PharmaceuticalIntermediates;Organics;AnalyticalChemistry;Biochemistry;GCDerivatizingReagents;Nucleosides,Nucleotides&RelatedReagents;ProtectingAgentsforHydroxylandAminoGroups;ProtectingAgents,PhosphorylatingAgents&CondensingAgents;Si(ClassesofSiliconCompounds);Silazanes;SiliconCompounds(forSynthesis);Silylation(GCDerivatizingReagents);Si-NCompounds;SyntheticOrganicChemistry;Trimethylsilylation(GCDerivatizingReagents);BlockingAgents;ProtectiveAgents;SilylatingAgents;organosiliconcompound;ChemicalSynthesis;OrganometallicReagents;Organosilicon;MaterialsforSurfaceModification;SubstratesandElectrodeMaterials;ElectronicChemicals;MaterialsScience;Micro/NanoElectronics;OrganicandPrintedElectronics;SemiconductorGradeChemicals;APIIntermediate;1Mol文件999-97-3.mol結(jié)構(gòu)式六甲基二硅氮烷性質(zhì)熔點(diǎn)-78°C沸點(diǎn)125°C(lit.)密度0.774g/mLat25°C(lit.)蒸氣密度4.6(vsair)蒸氣壓20hPa(20°C)折射率n20/D1.407(lit.)閃點(diǎn)57.2°F儲(chǔ)存條件Storebelow+30°C.溶解度與丙酮、苯、乙醚、庚烷和全氯乙烯混溶。形態(tài)液體酸度系數(shù)(pKa)30(at25℃)顏色無(wú)色比重0.774氣味(Odor)氨氣味酸堿指示劑變色ph值范圍8.5爆炸極限值(explosivelimit)0.8-25.9%(V)水溶解性REACTS敏感性MoistureSensitive水解敏感性7:reactsslowlywithmoisture/waterMerck14,4689BRN635752InChIKeyFFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-NLogP0.23-1.19at20-25℃CAS數(shù)據(jù)庫(kù)999-97-3(CASDataBaseReference)NIST化學(xué)物質(zhì)信息Silanamine,1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-(999-97-3)EPA化學(xué)物質(zhì)信息Hexamethyldisilazane(999-97-3)六甲基二硅氮烷用途與合成方法有機(jī)硅化合物六甲基二硅氮烷，英文縮寫(xiě)HMDS，一種重要的有機(jī)硅化合物，最常用來(lái)增加光刻膠在品圓表面附著力的底漆層，易燃且燃點(diǎn)為6.7℃，當(dāng)在空氣中的濃度為0.8%-16%時(shí)具有爆炸性，HMDS會(huì)強(qiáng)烈地與水、酒精和礦物質(zhì)酸反應(yīng)釋放出氨水NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應(yīng)，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無(wú)水氯化氫反應(yīng)，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。光刻膠應(yīng)用六甲基二硅氮烷(HMDS)底涂通常在應(yīng)用光刻膠之前使用。1970年，IBM的RHCollins和FTDevers在美國(guó)專(zhuān)利3,549,368中首次描述了HMDS作為光刻膠粘合促進(jìn)劑的用途。該工藝已從基于將晶圓浸入HMDS溶液中的做法逐步發(fā)展為基于蒸汽的過(guò)程。盡管可以通過(guò)旋涂將HMDS涂敷在晶圓上，但通常不推薦這樣做，因?yàn)镠MDS厚層的蒸汽蒸發(fā)會(huì)在后期造成問(wèn)題。最典型的HMDS應(yīng)用在真空室中，該真空室將基板的加熱與暴露于HMDS蒸氣相結(jié)合。HMDS提高了光刻膠的附著力由于從環(huán)境濕度中吸收了一層水，硅晶片的表面通常是親水的。為了光刻膠的適當(dāng)粘附，需要使表面更疏水以更好地匹配光刻膠的化學(xué)性質(zhì)。該過(guò)程的第一步稱為脫水烘烤。顧名思義，該步驟的目的是去除晶圓表面的水分。此步驟通常在真空中進(jìn)行，需要大約140至160°C的溫度。如果不去除水層，則在后續(xù)顯影或化學(xué)蝕刻過(guò)程中存在光刻膠分層的風(fēng)險(xiǎn)。然而，在這一步之后，晶圓表面仍然是親水的，因?yàn)槊撍贡砻婊謴?fù)到自然狀態(tài)。在原生狀態(tài)下，硅晶片的頂部有一層薄薄的天然氧化物，當(dāng)暴露在大氣濕度下時(shí)會(huì)形成。在化學(xué)上，這被視為硅表面的OH基團(tuán)。為了使光刻膠正確粘附，表面需要更疏水（防水）。脫水烘烤從晶圓表面去除多余的材料（即吸附的水），而HMDS處理將添加單層材料，使其對(duì)光刻膠更具吸引力。脫水烘烤后，表面暴露于蒸汽HMDS，通常在設(shè)置為130至160°C的熱底漆烘箱中。晶圓表面的OH基團(tuán)會(huì)與HMDS的甲基發(fā)生反應(yīng)，從而使表面更加疏水。表面會(huì)更好地與光刻膠的化學(xué)成分相匹配，但也不易吸水。危險(xiǎn)性六甲基二硅氮烷是主危3類(lèi)副危6.1類(lèi)/8類(lèi)的危險(xiǎn)貨物，具有以下危險(xiǎn)性質(zhì)：易燃液體和蒸氣，吞咽有害、皮膚接觸會(huì)中毒，吸入會(huì)中毒。其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱極易燃燒爆炸，爆炸極限范圍0.8%-16.3%。與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。遇水和甲醇發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而分解。化學(xué)性質(zhì)無(wú)色透明易流動(dòng)液體。沸點(diǎn)125℃，相對(duì)密度0.76（20/4℃）。溶于有機(jī)溶劑，與空氣接觸會(huì)迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。閃點(diǎn)-1℃。用途六甲基二硅氮烷在有機(jī)硅氮烷化學(xué)中，可以用作與氯硅烷單體進(jìn)行氯交換，從而獲得聚硅氮烷。這種方法比直接通氨法在合成上有巨大優(yōu)勢(shì)。用途用于生產(chǎn)橡膠、藥物、羥基及氨基保護(hù)劑、無(wú)機(jī)填料處理劑。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。特種有機(jī)合成。六甲基二硅氮烷是堿性硅烷化保護(hù)劑，用于西胺卡那霉素、阿米卡星、盤(pán)尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過(guò)程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。生產(chǎn)方法將109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml無(wú)水乙醚，通入氨氣，立即出現(xiàn)白色沉淀。加熱至回流，慢慢通氨維持6h，使氯化銨沉降、過(guò)濾，取乙醚溶液先蒸出乙醚，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g，收率65%。類(lèi)別易燃液體毒性分級(jí)中毒急性毒性口服-大鼠LD50:850毫克/公斤;口服-小鼠LDL0:850毫克/公斤可燃性危險(xiǎn)特性遇明火、高溫、氧化劑易燃;遇水分解有毒硅化物氣體;燃燒產(chǎn)生有毒氮氧化物煙霧儲(chǔ)運(yùn)特性庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥;與氧化劑、酸類(lèi)分開(kāi)存放滅火劑干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211滅火劑