高精度金剛石晶圓劃片機MR 200 系統(tǒng)軟件的設置和硬件的配置能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的劃線，從而實現(xiàn)對結構化硅片的精準切割。MR 200 是一款非常有力的工具，尤其在半導體技術的 SEM 樣品制備過程中極為重要。此外，MR 200 也適用于小批量芯片的切割分離，例如在實驗室應用中。
高精度金剛石晶圓劃片機的機械基礎裝置提供了眾多可用于調(diào)整劃線參數(shù)的選項。高品質(zhì)的變焦光學系統(tǒng)可實現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無級調(diào)節(jié)。光學和機械組件可以通過輔助模塊進行擴展，從而提升操作效率及人機交互舒適性。這樣的模塊包括攝像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)以及工作臺位移測量系統(tǒng)。
攝像系統(tǒng)：
這款高品質(zhì)的變焦顯微鏡能夠在標本表面的概覽圖和細節(jié)圖之間實現(xiàn)無級切換。通過 x/y 載物臺的微調(diào)，可以對標本進行高精度定位。劃線金剛石的起始點及工作角度是可以調(diào)整的，目鏡十字線用于標記起始點。視頻系統(tǒng)可選配，配置此功能后，晶圓表面情況可以在PC的顯示器上進行實時觀察。
圖像處理系統(tǒng)：
高品質(zhì)的變焦光學系統(tǒng)可實現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無級調(diào)節(jié)。
工作臺位移測量系統(tǒng)：
數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為100mm/200mm。測量儀可實現(xiàn)晶圓臺在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。
數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為100mm
數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為200mm
技術參數(shù)：
| 主體 | 擠壓型材主體框架 |
| 尺寸（BxTxH） | (400×800×600) mm |
| 重量 | 20kg |
| 動力系統(tǒng) | 電磁式劃線動力系統(tǒng)（按需可切換為氣動式劃線動力系統(tǒng)，適用于高劃線壓力需求場景） |
| 劃線金剛石控制 | 腳踏開關控制（上/下） |
| 劃片力度 | 10g-120g可調(diào)（其他需求請咨詢） |
| 劃線槽寬度 | 5μm-10μm（取決于劃線力度和材料） |
| 刀頭速度 | 可調(diào) |
| 刀頭高度 | 可調(diào)，用于不同厚度的樣品 |
| 刀頭工作角度 | 可調(diào) |
| 劃線顆粒 | 通過真空抽取 |
| 顯微鏡 | 高質(zhì)量可變焦，可無級調(diào)節(jié)，放大倍率8x-40x |
| 目鏡 | 帶有發(fā)絲十字刻線，根據(jù)邊緣、結構特征及參考標記等精準劃線 |
| 光學系統(tǒng)分辨率 | 優(yōu)于10μm（10x放大倍率） |
| 晶圓夾具 | 鍍特氟龍涂層的真空托盤，安裝于X/Y樣品臺上，直徑200mm（可選100mm） |
| 晶圓夾具角度 | 通過螺旋測微儀對晶圓夾具角度微調(diào)，分辨率為10μm（0.006°） |
| 晶圓夾具旋轉 | 配可調(diào)止動裝置，可實現(xiàn)精確90°旋轉，無需關閉真空 |
| X-Y位移工作臺 | 手動，有效行程200x200mm，用于劃線和粗定位 |
| 25mm微米螺桿 | 用于垂直于劃線方向的精確定位 |
| 10mm微米螺桿 | 用于劃線方向的精確定位 |
| 光源 | LED環(huán)形燈，支持亮度調(diào)節(jié)并配電源 |
| 最小樣品尺寸 | 10x10mm |
| 晶圓厚度 | 所有標準厚度的硅晶圓 |
| 切割材質(zhì) | Si、GaAs（其他材質(zhì)可咨詢） |
| 視頻系統(tǒng) | 附帶圖像處理軟件，選配
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光學系統(tǒng)：
高品質(zhì)的變焦光學系統(tǒng)可以實現(xiàn)從8倍到40倍放大倍率的無級調(diào)節(jié)，該顯微鏡有很多配件可供選擇，以實現(xiàn)更多功能。
可選配件：
1、數(shù)字式位移測量儀：100mm/200mm
測量儀可實現(xiàn)晶圓臺在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。
2、相機適配升級套件
CCD攝像機的升級套件包括相應的顯微鏡組件。另外，還需要攝像機、顯示器或帶圖像處理軟件的電腦。客戶可以選擇自定義方案，或使用OEG提供的攝像機、電腦及軟件。
3、彩色視頻系統(tǒng)
該選配包含一臺130萬像素的彩色相機、一臺一體機電腦及圖像處理軟件，該軟件可將相機圖像顯示在屏幕上并支持保存圖像。
4、線寬測量
這款擴展的圖像處理軟件可實現(xiàn)亞像素分辨率的高精度線寬測量。
精準切割，操作方便：
將基片固定在卡盤上后，將顯微鏡對準晶圓。通過手動驅(qū)動工作臺沿X軸和Y軸移動，可以將劃線調(diào)整到樣品上的參考標記或結構。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能夠快速在樣品的概率圖和細節(jié)圖之間切換查看。通過X/Y工作臺微調(diào)，可以非常精準地定位晶圓。劃線金剛石的接觸點可以通過目鏡或者顯示屏上的十字線來調(diào)整，并由腳踏開關控制升降，雙手可同時操作劃線運動。確定劃線位置后，用腳踏開關放下金剛石，手動移動卡盤，完成劃線。
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那諾中國有限公司是一家高科技技術服務公司，專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構提供基于飛行時間質(zhì)譜儀的高性能科學儀器。
我們可以提供高性價比的定制化儀器 ，因為我們能夠重復使用現(xiàn)有的設計模塊，這些來源于我們龐大的、 有據(jù)可查的后臺目錄中。這些預先存在的機械信息，結合所需要的任何一次性工程，使我們能夠根據(jù)客戶的具體要求生產(chǎn)出價格合理的儀器。
我們的飛行時間二次離子質(zhì)譜儀不僅適用于實驗室實驗，也適用于現(xiàn)場實時分析，在環(huán)境衛(wèi)生、工業(yè)和生產(chǎn)、生物科學、材料科學、半導體、電子等行業(yè)均有廣泛的應用。