生產(chǎn)方法：沸騰氯化法硅粉經(jīng)干燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進(jìn)行反應(yīng)。生成的粗三氯氫硅經(jīng)濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經(jīng)冷凝，制得三氯氫硅成品。其Si+3HCl→SiHCl3+H2
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