COA：99.5%純度 單一金雜≤20ppb

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提供電子級超純小試設(shè)備，純度99.9%以上，專業(yè)防金屬

離子污染，滿足半導(dǎo)體行業(yè)需求，確保高純度化學(xué)品處

理，保障工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

相對小試設(shè)備而言，中試ECP總包對金屬離子污染、連鎖

控制要求更高。采用sus304或sus316等金屬材質(zhì)，容易

滲漏Fe、Gr、Ni等金屬，需嚴(yán)格聯(lián)鎖以確保99.9%以上物

質(zhì)的純化工藝窗口。我們可根據(jù)需求在工業(yè)分子精餾基礎(chǔ)

上定制半導(dǎo)體中試設(shè)備，滿足行業(yè)最領(lǐng)先要求。

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借多年經(jīng)驗，我們致力于解決各類挑戰(zhàn)。不僅限于設(shè)備和

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