三甲基甲氧基硅烷（Trimethylmethoxysilane），別名甲氧基三甲基硅烷、MTMS，英文名Trimethyl Methoxysilane，CAS號1825-61-2，分子式C4H12OSi，分子量104.22，是一種硅烷類化合物 [2-4]。該物質(zhì)為無色液體，密度0.756 g/mL（25°C），沸點57.5℃±0.0℃，閃點-30.6℃±0.0℃，折射率1.372（20°C），蒸汽壓230.3 mmHg（25°C），可溶于有機溶劑但難溶于水 [3-4]。

三甲基甲氧基硅烷可通過三甲基氯硅烷與無水甲醇反應制得，其Si-OCH3鍵中的甲氧基可被有機基取代。該物質(zhì)與水反應生成三甲基硅醇和六甲基二硅氧烷，主要作為直鏈聚硅氧烷封端劑使用，并應用于制備疏水涂層、修飾環(huán)氧樹脂紫外線老化性能及涂覆超疏水再生聚酯氣凝膠。