產品基本信息

產品名稱：PFA方盤/托盤

材質：Teflon、PFA

尺寸：400*300mm   340*240mm

貨號：RNKW-PFATP

PFA托盤是一種使用PFA（可熔性聚四氟乙烯） 材料制成的高性能工業(yè)托盤、載具或容器。PFA是一種透明的、全氟化的氟聚合物塑料，以其極端的化學惰性、超高純度和出色的耐高溫性而聞名。

材質特性

幾乎能抵抗所有強酸、強堿、強氧化劑和有機溶劑（如王水、氫氟酸、濃硫酸等）的腐蝕。

超高純度與低析出：

材料本身純凈，在超純化學藥液（如半導體級酸、堿、溶劑）中浸泡時，離子和金屬雜質析出量極低，不會污染工藝液體或晶圓。這是其在半導體制造中不可或缺的原因。

出色的耐熱性：

連續(xù)使用溫度范圍廣（-196°C 至 +260°C），短時間內可承受更高溫度。適用于高溫清洗（如熱硫酸清洗）和工藝環(huán)境。

表面光滑如“特氟龍”，不粘附物料，易于清潔，能防止產品粘連。

相比PTFE（聚四氟乙烯，特氟龍），PFA具有更好的抗蠕變性和韌性。通常是半透明或透明的，便于觀察內部物體或液位。

主要應用領域

半導體制造業(yè)（最主要市場）：

濕法工藝：用于在清洗、蝕刻、顯影等槽體中承載和傳輸硅片（晶圓）。常見的如 FOUP/FOSB 內膽托盤、花籃、卡匣等。

化學品儲存與輸送：用于盛放、分配超高純度的化學液體。

光伏產業(yè)：

在太陽能電池片制造過程中，用于制絨、蝕刻、清洗等濕法工藝，承載硅片。

化工與制藥行業(yè)：

用于處理高純度、高腐蝕性的化學試劑和藥品中間體。作為實驗器皿、反應容器或輸送托盤。

常見類型與設計

晶圓托盤： 有25片、50片等容量，設計有精確的卡槽，用于固定不同尺寸（如8英寸、12英寸）的晶圓。

花籃/卡匣： 用于將晶圓從一個工藝槽移動到另一個工藝槽的標準載體。

方形/矩形托盤： 用于盛放化學品、零部件或作為工作盤。

定制化設計： 可根據客戶的具體需求，在尺寸、形狀、開孔、加強筋等方面進行定制，以優(yōu)化液體交換、減少滯留或增加強度。