- CAS號:7783-61-1
- 中文名:四氟化硅
- 英文名:Silicon tetrafluoride、Tetrafluorosilane
- 曾用名:氟化硅
- 保存溫度:常溫陰涼密封儲存(鋼瓶儲運≤40℃,避免暴曬、高溫環(huán)境)
- 分子式:SiF?
- 屬性:無色刺激性氣味氣體,易水解、遇水生成氫氟酸,屬于鹵代硅化物,?;贩诸悶榧訅簹怏w+腐蝕性氣體,有劇毒
- 用途:半導體硅源氣、光纖制造原料、氟化物合成中間體、電子級硅化合物制備
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