. CAS號(hào):無單一CAS號(hào)(核心組分硅烷CAS:7803-62-5;稀釋氣多為氮?dú)釩AS:7727-37-9/氬氣CAS:7440-37-1)
2. 中文名:硅烷混合氣;硅烷稀釋混合氣
3. 英文名:Silane mixture;Silane in inert gas(N?/Ar)
4. 曾用名:硅烷惰性混合氣、硅烷保護(hù)混合氣
5. 保存溫度:高壓鋼瓶常溫密封儲(chǔ)存,置于陰涼通風(fēng)、≤30℃干燥環(huán)境,遠(yuǎn)離熱源/火種/氧化劑
6. 分子式:無單一分子式,組分為SiH?+N?/Ar(常見SiH?體積分?jǐn)?shù)1%~10%,余為惰性稀釋氣)
7. 屬性:無色無味有毒氣體,屬第2.1類易燃?xì)怏w+第2.3類有毒氣體,高壓壓縮氣體,遇空氣易自燃、遇水/氧化劑劇烈反應(yīng),具腐蝕性,稀釋后燃爆風(fēng)險(xiǎn)降低
8. 用途:半導(dǎo)體工業(yè)的外延沉積、化學(xué)氣相沉積(CVD)制備硅膜/硅化物;光伏行業(yè)制備晶硅薄膜、太陽能電池基材;平板顯示行業(yè)的薄膜沉積;微電子器件的摻雜與刻蝕輔助氣體
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