有機硅化合物:六甲基二硅氮烷,英文縮寫HMDS,一種重要的有機硅化合物,最常用來增加光刻膠在品圓表面附著力的底漆層,易燃且燃點為6.7℃,當在空氣中的濃度為0.8%-16%時具有爆炸性,HMDS會強烈地與水、酒精和礦物質酸反應釋放出氨水NH3,生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下,與醇或酚反應,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。
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