中文名稱 : 四甲基硅酸銨（本款電子化學(xué)品可以按您的需求定制金屬雜質(zhì)指標(biāo)，我們接受定制）
中文同義詞 : 四甲基硅酸銨;四甲基硅酸銨, 16% W/V AQ. SOLN.;硅酸四甲基銨;硅酸四甲基銨 溶液;四甲基硅酸銨, 16% W/V 水溶液
四甲基硅酸銨，CAS號(hào) 53116-81-7，是一種無(wú)色至微黃色透明液體，純度≥99%。本品是一種極高純度的、不含金屬離子的可溶性硅酸鹽，其分子由四個(gè)四甲基銨陽(yáng)離子（TMA?）與一個(gè)硅酸根陰離子（SiO???）組成。
作為半導(dǎo)體級(jí)功能性化學(xué)品，本品具有以下核心特性：
無(wú)金屬離子污染：完全不含鈉、鉀等堿金屬離子，避免對(duì)晶圓造成電性污染
強(qiáng)堿性環(huán)境：提供穩(wěn)定的堿性pH條件，適用于光刻膠去除和清洗工藝
活性硅源：硅酸根離子可在特定條件下沉積形成高純度二氧化硅薄膜
金屬雜質(zhì)可控：支持專屬金雜定制，可低至ppb級(jí)別，滿足半導(dǎo)體制造嚴(yán)苛要求
物化特性摘要：
外觀：無(wú)色至微黃色透明液體
密度：1.072 g/mL（25℃）
水解穩(wěn)定性：形成穩(wěn)定的水溶液
對(duì)二氧化碳敏感：儲(chǔ)存時(shí)必須嚴(yán)格密閉，避免吸收CO?導(dǎo)致失效或析出
包裝規(guī)格：50kg/100kg 氟化瓶
生產(chǎn)能力：百噸級(jí)/年
定制能力：金屬雜質(zhì)可按客戶需求控制（ppb級(jí)），支持專屬金雜定制
安全注意事項(xiàng)：具有強(qiáng)堿性，操作時(shí)必須佩戴防腐蝕護(hù)具（護(hù)目鏡、防酸手套、防護(hù)服）。對(duì)二氧化碳敏感，儲(chǔ)存時(shí)必須嚴(yán)格密閉，避免吸水和吸收空氣中的二氧化碳導(dǎo)致失效或析出。
三、應(yīng)用領(lǐng)域范圍
應(yīng)用領(lǐng)域 具體用途說(shuō)明
半導(dǎo)體CMP研磨液
作為銅/鋁互連CMP工藝中的防腐蝕添加劑：硅酸根離子優(yōu)先吸附在金屬表面形成極薄保護(hù)膜，抑制堿性研磨液對(duì)金屬布線的腐蝕，同時(shí)維持TMAH的堿性以去除光刻膠殘留
高端無(wú)機(jī)涂層與結(jié)合劑
作為無(wú)金屬離子硅源，用于制備高純度二氧化硅涂層；在旋涂絕緣層（SOG）工藝中形成層間介質(zhì)薄膜，避免傳統(tǒng)硅源的鈉離子污染風(fēng)險(xiǎn)
光刻膠去除劑
利用其強(qiáng)堿性和無(wú)金屬特性，有效去除晶圓表面的光刻膠殘留，同時(shí)保護(hù)下方金屬層不受腐蝕
硅基涂層成膜組合物 用于制備二氧化硅基涂層膜，可形成具有良好CMP耐受性、低介電性和優(yōu)異粘附性的涂層
電子元器件涂層
用于顯示面板、集成電路和半導(dǎo)體分立器件等領(lǐng)域的細(xì)微圖形加工作業(yè)
關(guān)鍵字： 四甲基硅酸銨;5-MBTA;53116-81-7;cas 53116-81-7;電子級(jí)化學(xué)品;
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