吹掃瓶Precursor Purge Bottle（也常叫 Bubbler Purge、惰性氣體吹掃瓶、載氣鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半導(dǎo)體外延、氣相沉積設(shè)備里，配合液體前驅(qū)體、易揮發(fā)固體前驅(qū)體源瓶 使用，核心作用是：用惰性氣體把管路里殘留的前驅(qū)體蒸汽吹掃干凈，防止冷凝、堵塞、交叉污染。

一、工作原理

1.載氣預(yù)飽和 / 干燥吹掃氣（N?/Ar/He）先經(jīng)過(guò)吹掃瓶，可帶少量溶劑蒸汽，避免前驅(qū)體被過(guò)度稀釋或冷凝。

2.管路吹掃、防前驅(qū)體殘留脈沖結(jié)束后，吹掃氣經(jīng)過(guò)此瓶再進(jìn)入管路 / 腔體，穩(wěn)定氣流，減少死體積殘留。

3.緩沖穩(wěn)壓避免氣路壓力突變，保護(hù) MFC、閥門(mén)和腔體工藝穩(wěn)定性。

4.觀察氣泡，判斷氣路通斷透明材質(zhì)可直接看氣泡，快速判斷是否通氣、流量是否正常。

二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

·主體瓶身：PFA / PTFE（高純、耐 HF、耐鹵化物前驅(qū)體）

·進(jìn)氣插管：長(zhǎng)管插到瓶底，鼓泡

·出氣管：短管，在上部出氣

·瓶蓋 / 接頭：PFA/PTFE 螺紋，配氟膠 / 全氟密封圈

·可選：帶刻度、帶加熱夾套、帶旁路

三、PFA吹掃瓶產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

·耐 HF、鹵化物、金屬有機(jī)前驅(qū)體

·超低金屬析出，符合半導(dǎo)體 / 光伏的高純要求

·半透明，能直接看氣泡

·耐高溫，可加熱伴熱，防止前驅(qū)體冷凝

·不吸附、不沾液，易清洗再生

·前驅(qū)體吹掃瓶：一般裝惰性溶劑、空白液，或干脆空瓶?jī)H作緩沖 / 鼓泡觀察專門(mén)給吹掃氣路使用，不參與反應(yīng)成膜

四、常見(jiàn)規(guī)格（實(shí)驗(yàn)室 / 小量產(chǎn)常用）

·100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L

·接口：1/4" PFA 接頭、卡套、 flare 接頭

·配套：PFA 管路、PFA 閥門(mén)、MFC 質(zhì)量流量計(jì)

五、適用工藝

·ALD / CVD 氟基前驅(qū)體吹掃

·半導(dǎo)體高純氧化層、氮化物沉積

·HF、含氟前驅(qū)體氣路保護(hù)與吹掃