硅烷是電子工業(yè)高純硅源,通過氣相沉積制備多晶硅、單晶硅及薄膜,廣泛用于芯片、光伏電池制造;有機合成中用于硅基還原、硅化物制備。自燃性極強,微量泄漏即起火爆炸,需密閉防爆場所操作,鋼瓶低溫通風存放,嚴格隔絕空氣、氧化劑與水汽,配套專用泄漏檢測設備。
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九月