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正硅酸四乙酯,Ethyl Silicat
  • 正硅酸四乙酯,Ethyl Silicat

正硅酸四乙酯

價格 ￥500.00
包裝 2KG
最小起訂量 2KG
發(fā)貨地 上海
更新日期 2026-03-27
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產(chǎn)品詳情

中文名稱:正硅酸四乙酯英文名稱:Ethyl Silicat
CAS:78-10-4純度規(guī)格: 99.999999
產(chǎn)品類別: 化學品 ( Chemical )
產(chǎn)品編號: WE34產(chǎn)品等級: 電子級
月產(chǎn)量: 5000
2026-03-27 正硅酸四乙酯 Ethyl Silicat 2KG/500.00RMB;RMB 500.00 99.999999 化學品 ( Chemical )
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正硅酸四乙酯/ TEOS
 
 
 
 
名稱
正硅酸四乙酯(TEOS)
化學式
C8H20O4Si
相對分子量
208.33
CAS號
28767
理化性質(zhì)
無色透明液體，熔點－77℃，沸點168.5℃，密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。
主要用途
 
 
 
主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學品。
典型應用
 
 
 
CVD類型
材料
 
 
APCVD
TEOS,O3
 
 
LPCVD
TEOS
 
 
PECVD
TEOS,O2
 
 
 
 
 
 
產(chǎn)品標準
 
 
 
項目Item
標準值Standard Value
項目Item
標準值Standard Value
純  度
99.999999% (8N)
鈮（Nb）max
0.1ppb
鋁（Al）max
0.2ppb
鎳（Ni）max
關(guān)鍵字： 正硅酸四乙酯 ( Ethyl Silicate )

公司簡介

上海眾巍是中國先進材料供應商。我們?yōu)閲鴥?nèi)外客戶提供氣體，化學品及相關(guān)產(chǎn)品服務，產(chǎn)品涉及各個工業(yè)領(lǐng)域，如鋼鐵，造船，半導體，光學纖維，醫(yī)藥，食品等。
成立日期 2015-01-05 （12年） 注冊資本 5000000
員工人數(shù) 10-50人 年營業(yè)額 ￥ 5000萬-1億
主營行業(yè) 特殊化學試劑,基礎(chǔ)無機試劑,特種化學品 經(jīng)營模式 貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務
  • 上海眾巍化學有限公司
VIP 11年
  • 公司成立：12年
  • 注冊資本：5000000
  • 企業(yè)類型：有限責任公司
  • 主營產(chǎn)品：六氟乙烷，三氯化硼 ，氟甲烷， 甲烷，乙烷，三氟化氮， 六氟化鎢 ， 三氟化硼
  • 公司地址：中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)金海路1255號4幢三層A311室
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