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黃穎
三氟化氯

三氟化氯

  • 中文名稱:三氟化氯
  • CAS No.:7990-91-2
  • 分子式:ClF3
  • 分子量:92.45
  • 產(chǎn)品類別: 有機(jī)原料
  • 中文別名:三氟化氯
  • 用途: 三氟化氯(CIF3)是一種用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室及其管道清洗的重要的電子特氣。與其他含氟氣體(如NF3、C2F6和CF4)不同,三氟化氯在室溫下就能夠與半導(dǎo)體材料進(jìn)行反應(yīng),因此它可以清洗冷壁CVD腔室。 更多
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