1.采用硅烷原料氣，經(jīng)流量計(jì)進(jìn)入放電管，在適當(dāng)溫度、頻率和電壓下，得到含乙硅烷、甲烷和氫的混合氣，將混合氣在不同的冷卻條件下進(jìn)行吸收，除掉雜質(zhì)，可得高純乙硅烷。

2. 甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級(jí)硅烷，用液氮冷卻回收，采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。

3. 采用硅烷原料氣，經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)入放電管，在適當(dāng)溫度、頻率和電壓下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氫的混合氣，混合氣在不同的冷卻條件下進(jìn)行吸收，雜質(zhì)被排出，可得高純乙硅烷。

乙硅烷是一種有毒的化合物，在室溫下為氣態(tài)。它的性質(zhì)與乙烷很類(lèi)似，都是無(wú)色易燃的氣體，但是它的硅-硅鍵比乙烷的碳-碳鍵還來(lái)的弱，因此比乙烷還不穩(wěn)定。乙硅烷通常是氫很好的來(lái)源，只要經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的化學(xué)反應(yīng)就可以得到氫。

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，會(huì)沉積非晶硅。這個(gè)化學(xué)氣相沉積過(guò)程與光伏器件的制造有關(guān)。它用于生產(chǎn)硅晶圓。

乙硅烷氣體可用于控制 SiC 熱分解生長(zhǎng)石墨烯過(guò)程中，Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會(huì)影響生產(chǎn)的石墨烯的質(zhì)量。

硅化鎂法

Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2

反應(yīng)產(chǎn)物為單硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它們精制分離后得乙硅烷。

還原法

用氫化鋁鋰等還原劑還原六氯乙硅烷。乙硅烷用低溫精餾和吸附等方法精制。

甲硅烷無(wú)聲放電法

甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級(jí)硅烷，用液氮冷卻回收，采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。