27804-64-4

中文名稱(chēng) 雙(二乙基氨基)硅烷

英文名稱(chēng) SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl

CAS 27804-64-4

分子式 C8H22N2Si

分子量 174.36

MOL 文件 27804-64-4.mol

更新日期 2026/05/27 17:50:53

27804-64-4 結(jié)構(gòu)式

基本信息物理化學(xué)性質(zhì) 安全數(shù)據(jù) 常見(jiàn)問(wèn)題列表圖譜信息

基本信息

中文別名

雙(二乙基氨基)硅烷
雙(二乙氨基)二氫硅烷

英文別名

BDEAS
amino)dihydrosiL
BIS(DIETHYLAMINO)SILANE
BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2
Bis(diethylamino)silane BDEAS
bis(diethylamino)dihydrosilane
Bis(diethylamino) Silane Liquid
Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
SilanediaMine, N,N,N',N'-tetraethyl-

所屬類(lèi)別

有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物

物理化學(xué)性質(zhì)

沸點(diǎn)70°C (30mm)

密度0.804

酸度系數(shù)(pKa)10.31±0.70(Predicted)

形態(tài)液體

比重0.804

顏色無(wú)色

敏感性對(duì)空氣敏感，濕氣敏感

水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents

InChIInChI=1S/C8H22N2Si/c1-5-9(6-2)11-10(7-3)8-4/h5-8,11H2,1-4H3

InChIKeyOWKFQWAGPHVFRF-UHFFFAOYSA-N

SMILES[SiH2](N(CC)CC)N(CC)CC

安全數(shù)據(jù)

危險(xiǎn)性符號(hào)(GHS) 有害 (GHS07)

GHS07,GHS02,GHS05

警示詞危險(xiǎn)

危險(xiǎn)性描述H314-H260-H302+H312+H332-H225-H335

防范說(shuō)明P223-P231+P232-P280-P335+P334-P370+P378-P402+P404-P501-P210-P233-P240-P241-P242-P243-P280-P303+P361+P353-P370+P378-P403+P235-P501-P260-P264-P280-P301+P330+P331-P303+P361+P353-P363-P304+P340-P310-P321-P305+P351+P338-P405-P501

REACH 注冊(cè)登記Active

常見(jiàn)問(wèn)題列表

用途

雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。

制備

目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷與二烷基胺的反應(yīng)而合成的方法中，除了目標(biāo)二烷基氨基硅烷以外，還大量副產(chǎn)二烷基胺的鹽酸鹽，因此在獲得目標(biāo)二烷基氨基硅烷時(shí)，需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低，從而廉價(jià)地大量制造。作為使二烷基胺與氯硅烷反應(yīng)時(shí)的溶劑，使用對(duì)于反應(yīng)中所副產(chǎn)的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質(zhì)子極性溶劑，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴，藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。進(jìn)行精餾，此可獲得鹵素含量(氯)成分低的高品質(zhì)的二烷基氨基硅烷?，F(xiàn)有專(zhuān)利及文獻(xiàn)技術(shù)所使用雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精餾方式，雙(二乙基氨基)硅烷純度難以超過(guò)99.99%。

?健康危害

急性毒性 - 口服 - 類(lèi)別3
急性毒性 - 吸入 - 粉塵/氣霧 - 類(lèi)別4
急性毒性 - 吸入 - 蒸氣 - 類(lèi)別4
急性毒性 - 吸入 - 氣體 - 類(lèi)別4

圖譜信息