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返回ChemicalBook首頁(yè)>CAS數(shù)據(jù)庫(kù)列表>993-07-7

993-07-7

中文名稱 三甲基硅烷
英文名稱 TRIMETHYLSILANE
CAS 993-07-7
分子式 C3H10Si
分子量 74.2
MOL 文件 993-07-7.mol
更新日期 2026/06/13 17:34:17
993-07-7 結(jié)構(gòu)式 993-07-7 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
三甲基硅烷
英文別名
Silane, trimethyl-
(CH3)3SiH
trimethyl-silan
TRIMETHYLSILANE
trimethylsilicon
SILICON TRIMETHYL
Trimethylsilane,97%
Trimethylsilane 99.9%
2-Methyl-2-silapropane
Trimethylsilane 99.99%
所屬類別
化學(xué)試劑:硅烷試劑

物理化學(xué)性質(zhì)

熔點(diǎn)-135,9°C
沸點(diǎn)6,7°C
密度0,638 g/cm3
折射率1.3800 (estimate)
閃點(diǎn)<-29°C
形態(tài)液體
比重0.638
水溶解性1.4g/L at 20℃
比熱容Cp(gas):1.58895J/(g·K),at 25℃
水解敏感性3: reacts with aqueous base
InChIInChI=1S/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3
InChIKeyPQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N
SMILES[SiH](C)(C)C
LogP2.2 at 20℃
CAS 數(shù)據(jù)庫(kù)993-07-7
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Silane, trimethyl- (993-07-7)

安全數(shù)據(jù)

危險(xiǎn)性符號(hào)(GHS)易燃 (GHS02)壓縮氣體 (GHS04)有害 (GHS07)
GHS02,GHS04,GHS07
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H220-H315-H319-H335
防范說明P210-P280-P321
危險(xiǎn)類別碼12-36/37/38
安全說明9-16-26-33
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)3161
TSCAYes
REACH 注冊(cè)登記Active
海關(guān)編碼2931900050

常見問題列表

簡(jiǎn)介
三甲基硅烷或三甲基硅化氫,是一種有機(jī)硅化合物。它是一種極易燃的物質(zhì)。三甲基硅烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子相腐蝕劑。
化學(xué)性質(zhì)

三甲基硅烷是具有刺鼻氣味的無(wú)色液體,其蒸汽比空氣重,可能沿地面流動(dòng),造成遠(yuǎn)處著火。

用途
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年來(lái)作為半導(dǎo)體領(lǐng)域中的層間絕緣膜、作為成膜原料,其用途逐漸擴(kuò)大。
"993-07-7" 相關(guān)產(chǎn)品信息
13528-93-3 144-79-6 16532-02-8 1112-48-7 20082-71-7 58479-61-1 76-86-8 69739-34-0 768-33-2 4028-23-3 18643-08-8 400-53-3 2857-97-8 24589-78-4 79271-56-0 18291-80-0 18162-48-6 10416-59-8
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