乙硅烷(Si?H?)是一種重要的硅基無機(jī)化合物，化學(xué)式為Si?H?，分子量62.22，CAS號(hào)1590-87-0，在常溫常壓下為無色透明氣體，具有刺激性氣味^[1]。在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)和石墨烯生產(chǎn)等領(lǐng)域扮演著關(guān)鍵角色。作為電子級(jí)特種氣體，乙硅烷以其獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)和優(yōu)異的工藝性能，成為半導(dǎo)體先進(jìn)制程和光伏高效電池片制造中不可或缺的核心材料。

乙硅烷在光伏產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用

乙硅烷在光伏產(chǎn)業(yè)中最主要的應(yīng)用是作為硅薄膜沉積源材料，通過化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝形成非晶硅層。乙硅烷可在更低溫度下形成高質(zhì)量非晶硅薄膜，沉積速率顯著高于硅烷，大幅提高生產(chǎn)效率，薄膜表面形貌更平整。主要用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、外延成長、氧化膜和氮化膜等工藝^[2]。

隨著光伏技術(shù)的進(jìn)步，乙硅烷在高效電池片（如HJT電池）中的應(yīng)用日益重要。乙硅烷在低溫下即可形成高質(zhì)量硅薄膜，有利于降低HJT電池的制造成本和能耗^[3]。

乙硅烷在石墨烯生產(chǎn)中的應(yīng)用

乙硅烷在石墨烯生產(chǎn)中主要應(yīng)用于控制SiC熱分解過程中Si蒸氣的壓力，從而影響石墨烯的質(zhì)量。主要用于高性能石墨烯材料的制備，如柔性電子、透明導(dǎo)電薄膜、儲(chǔ)能器件等^[4]。

乙硅烷在石墨烯生長中的關(guān)鍵作用體現(xiàn)在乙硅烷的加入可提高SiC熱分解工藝的穩(wěn)定性，減少石墨烯薄膜的缺陷密度。

乙硅烷在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用

乙硅烷作為半導(dǎo)體制造中的重要前驅(qū)體，在芯片制造中已成為主流前驅(qū)體。通過乙硅烷前驅(qū)體，在硅基底上可形成均勻的氧化硅、氮化硅薄膜，用于晶體管、存儲(chǔ)器等器件的制造^[5]。

參考文獻(xiàn)

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[2]常欣,萬燁,趙雄,嚴(yán)大洲,袁振軍,郭樹虎.先進(jìn)硅基前驅(qū)體的應(yīng)用研究與技術(shù)進(jìn)展[J].半導(dǎo)體技術(shù),2020,45(6):409-418.

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