乙硅烷（英語：Disilane），又稱硅乙烷，是一種有毒的化合物，分子式為Si2H6，在室溫下為氣態(tài)。它的性質(zhì)與乙烷很類似，都是無色易燃的氣體，但是它的硅-硅鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱，因此比乙烷還不穩(wěn)定。乙硅烷通常是氫很好的來源，只要經(jīng)過簡單的化學(xué)反應(yīng)就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積制備純硅，是半導(dǎo)體工業(yè)重要的特用電子級氣體之一。

用途

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，會沉積非晶硅。這個化學(xué)氣相沉積過程與光伏器件的制造有關(guān)。它用于生產(chǎn)硅晶圓。

乙硅烷氣體可用于控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中，Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會影響生產(chǎn)的石墨烯的質(zhì)量。

合成方法

硅化鎂法

Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2

反應(yīng)產(chǎn)物為單硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它們精制分離后得乙硅烷。

還原法

用氫化鋁鋰等還原劑還原六氯乙硅烷。乙硅烷用低溫精餾和吸附等方法精制。

甲硅烷無聲放電法

甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級硅烷，用液氮冷卻回收，采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。

毒性

有關(guān)乙硅烷的毒性方面的文獻(xiàn)資料很少，但是從理論上以及其它類似氫化物的毒性中可以推測出，乙硅烷也是有毒的。

安全防護(hù)

因為乙硅烷比硅烷更不穩(wěn)定，所以，應(yīng)該比硅烷更加注意。鋼瓶溫度不能冷卻到乙硅烷的沸點(-14.3℃)以下，因為這是非常危險的。

因為乙硅烷在空氣中自燃，很容易發(fā)現(xiàn)其泄漏，而且有時在泄漏時產(chǎn)生爆炸聲，所以要沉著處理泄漏。