產(chǎn)品名稱：六氟環(huán)三磷腈
別名: 六氟三聚磷腈、二氧磷基腈氟化三聚體
英文名稱：Hexafluorocyclotriphosphazene
CAS：15599-91-4
分子式：F6N3P3
貨號：??? L0784
結(jié)構(gòu)式：
產(chǎn)品簡介
????? 六氟環(huán)三磷腈是白色到淺黃色晶體，其主要應(yīng)用于鋰電池電解液用作阻燃劑，也可用于潤滑油、半導(dǎo)體或液晶顯示基板等領(lǐng)域。
六氟環(huán)三磷腈具體應(yīng)用
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在半導(dǎo)體裝置或液晶顯示裝置等電子零件的制造步驟中，對基板實(shí)施使用液體的各種濕式處理后，對基板實(shí)施干燥處理以去除因濕式處理而附著于基板的液體。濕式處理指的是去除基板表面的污染物質(zhì)的洗凈處理。通過干式蝕刻步驟，在形成具有凹凸的微細(xì)圖案的基板表面存在蝕刻殘?jiān)?、金屬雜質(zhì)或有機(jī)污染物質(zhì)等，為了去除這些物質(zhì)，要將基板用洗凈液處理，洗凈處理后，還需進(jìn)行干燥處理。隨著形成在基板上的圖案的微細(xì)化，具有凹凸的圖案的凸部的縱橫比增大。因此，在干燥處理時(shí)，存在圖案倒塌的問題。因此，CN110800087B專利提供了一種基板處理方法、基板處理液及基板處理裝置?；逄幚硪褐辽侔劢鉅顟B(tài)的升華性物質(zhì)(干燥輔助物質(zhì))與溶劑：
?????? 升華性物質(zhì)可以為六亞甲基四胺、1,3,5-三惡烷、1-吡咯烷二硫代羧酸銨、四聚乙醛、烷烴(CnH2n+2(n：20～48))、叔丁醇、對二氯苯、萘、L-薄荷腦、氟化碳化合物等。
?????? 其中氟化碳化合物可以為氟環(huán)三磷腈，具體可以為六氟環(huán)三磷腈、八氟環(huán)四磷腈、十氟環(huán)五磷腈、十二氟環(huán)六磷腈等。
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本發(fā)明專利基板處理液包含熔解狀態(tài)的升華性物質(zhì)與溶劑，升華性物質(zhì)的凝固點(diǎn)高于基板處理液，進(jìn)而在使升華性物質(zhì)于溶劑中的溶解度降低的情況下，密度大于基板處理液的升華性物質(zhì)會因過量而沉淀。因此，本發(fā)明的基板處理液可削減升華性物質(zhì)的使用量，并且降低圖案倒塌的風(fēng)險(xiǎn)。
參考文獻(xiàn)
CN110800087B 基板處理方法、基板處理液及基板處理裝置.