電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑。是一種微電子技術發(fā)展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑，廣泛應用于半導體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程。主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒、無機殘留物和碳沉積物。電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。
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