中文名:三(二甲氨基)硅烷
英文名:Tris(dimethylamino)silane
純度:≥95%
貨號(hào):T283554
Cas號(hào):15112-89-7
存儲(chǔ)溫度:室溫,充氬
運(yùn)輸條件:常規(guī)運(yùn)輸
產(chǎn)品介紹:
三(二甲基氨基)硅烷(TDMAS)用作有機(jī)硅源,用于沉積氮氧化硅、碳氮化物、氮化物和氧化物薄膜。它還用于形成含硅多組分薄膜。沉積可以在低襯底溫度下進(jìn)行(<150)。TDMAS的熔點(diǎn)和蒸氣壓在合適的工作范圍內(nèi);從而使其成為非常好的氣相沉積前體
查看阿拉丁官網(wǎng)此產(chǎn)品相關(guān)對(duì)應(yīng)頁(yè)面:https://www.aladdin-e.com/zh_cn/T283554.html
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
聯(lián)系商家時(shí)請(qǐng)?zhí)峒癱hemicalbook,有助于交易順利完成!
阿拉丁客服