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15112-89-7

中文名稱 三(二甲胺基)硅烷
英文名稱 TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS 15112-89-7
分子式 C6H19N3Si
分子量 161.32
MOL 文件 15112-89-7.mol
更新日期 2026/05/25 11:27:53
15112-89-7 結(jié)構(gòu)式 15112-89-7 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
三(二甲胺)硅
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文別名
TDMAS
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
所屬類別
有機原料:無環(huán)單胺、多胺及其衍生物和鹽

物理化學性質(zhì)

熔點<0°C
沸點145 °C
密度0,838 g/cm3
折射率1.4247
閃點25°C
儲存條件2-8°C, protect from light
酸度系數(shù)(pKa)10.93±0.70(Predicted)
形態(tài)液體
比重0.84
顏色無色至淡黃色
敏感性對空氣敏感,濕氣敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
InChI1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
InChIKeyTWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N
SMILESCN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
EPA化學物質(zhì)信息
危險性符號(GHS)易燃 (GHS02)腐蝕 (GHS05)有毒 (GHS06)
GHS02,GHS05,GHS06
警示詞危險
危險品標志F,C
危險品運輸編號1993
WGK Germany3
RTECS號VV5800000
TSCAYes
REACH 注冊登記Active
存儲類別4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
危險性類別Acute Tox. 3 Dermal
Acute Tox. 3 Inhalation
Acute Tox. 4 Oral
Eye Dam. 1
Flam. Liq. 2
Skin Corr. 1B
Water-react 2
毒性rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.

常見問題列表

產(chǎn)品特性
相關(guān)的研究表明,三(二甲胺基)硅烷作為前驅(qū)體源不僅具有較好的穩(wěn)定性、較高的蒸汽壓,而且表現(xiàn)出了相當高的反應(yīng)性,所以這種有機硅源成了目前ALD方法沉積SiO2研究的熱點。 
制備
一種三(二甲胺基)硅烷的制備方法,包括如下步驟:在惰性氣氛保護下,在反應(yīng)器中加入二甲胺和烴類溶劑,然后向體系中加入有機鋰化合物,制得二甲胺的鋰鹽;向體系中加入三氯硅烷;反應(yīng)結(jié)束后進行蒸餾,得到三(二甲胺基)硅烷。
"15112-89-7" 相關(guān)產(chǎn)品信息
1068-69-5 51364-51-3 32093-39-3 57731-40-5 52522-40-4 7289-92-1 1624-01-7
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