一、產(chǎn)品核心信息
產(chǎn)品名稱：四氟化碳（別名：四氟甲烷、全氟化碳、R14、PFC-14）
英文名稱：Carbon Tetrafluoride / Tetrafluoromethane
CAS號：75-73-0
分子式：CF?
分子量：88.00
二、理化性質(zhì)
- 外觀狀態(tài)：常溫常壓下 無色、無味、無毒、不燃 惰性氣體
- 關(guān)鍵參數(shù)：- 熔點：-183.6℃；沸點：-128.1℃
- 液體密度（-130℃）：1.613g/cm3
- 臨界溫度：-45.67℃；臨界壓力：3.74MPa
- 相對蒸氣密度（空氣=1）：3.04
- 溶解性：不溶于水，可溶于苯、氯仿等有機溶劑
- 穩(wěn)定特性：- 化學(xué)穩(wěn)定性極強，900℃以下不與酸、堿、氧化劑及Cu、Ni、W、Mo等金屬反應(yīng)
- 絕緣性優(yōu)異，介電強度為空氣的3~4倍
- 全球變暖潛勢（GWP）：620（CO?=1）
三、核心優(yōu)勢
- 超高純度：工業(yè)級至7N級（99.99999%）全覆蓋，金屬雜質(zhì)低至ppb級
- 蝕刻精準(zhǔn)：等離子態(tài)下選擇性強、各向異性好，適配納米級精密制程
- 惰性安全：不燃不爆、低腐蝕、常溫穩(wěn)定，儲運與使用安全性高
- 應(yīng)用廣譜：貫穿半導(dǎo)體、顯示、光伏、制冷、航天、科研等高端領(lǐng)域
- 性能穩(wěn)定：C-F鍵牢固，高溫/高壓下不易分解，工藝一致性強
四、主要應(yīng)用領(lǐng)域
1. 半導(dǎo)體/微電子（核心）
- 等離子蝕刻：硅（Si）、二氧化硅（SiO?）、氮化硅（Si?N?）、磷硅玻璃（PSG）、鎢（W）薄膜蝕刻
- 晶圓清洗：器件表面去污、光刻膠剝離、腔體清潔
- 集成電路/芯片：5nm/7nm先進制程、DRAM/Flash制造的關(guān)鍵蝕刻氣體
2. 顯示面板（LCD/OLED）
- TFT陣列、氮化硅/氧化硅層精準(zhǔn)刻蝕，保障像素開關(guān)精度
- 面板封裝惰性保護氣，隔絕水汽氧氣，延長壽命
3. 光伏太陽能
- 電池片減反膜刻蝕/清洗、PECVD工藝氣體、硅片表面處理
4. 超低溫制冷（R14）
- -100℃~-150℃超低溫制冷劑，用于超導(dǎo)、科研、醫(yī)療深冷設(shè)備
5. 航天航空
- 火箭姿控推進劑添加劑、衛(wèi)星管路高壓絕緣/防漏、艙內(nèi)絕緣（替代SF?）
6. 其他領(lǐng)域
- 標(biāo)準(zhǔn)氣體：大氣監(jiān)測、儀器校準(zhǔn)、溫室氣體標(biāo)樣
- 金屬冶煉：銅、不銹鋼、鋁等冶煉的惰性保護氣
- 電子絕緣：高壓電器、激光設(shè)備絕緣介質(zhì)
- 泄漏檢測：精密器件示蹤檢漏劑
五、產(chǎn)品規(guī)格（純度/雜質(zhì)）
- 工業(yè)級：≥99.99%（4N）；H?O≤10ppm，O?+N?≤100ppm
- 電子級：≥99.999%（5N）~99.9999%（6N）；金屬雜質(zhì)≤1ppm
- 光纖/光伏級：≥99.9999%（6N）；雜質(zhì)≤100ppb
- 7N超高純級：≥99.99999%；金屬雜質(zhì)＜50ppb，水分≤1ppb
六、包裝與儲運
- 包裝：- 高壓無縫鋼瓶：4L/8L/10L/40L/47L/48.8L
- 充裝量：2.5kg/5kg/30kg/32kg，壓力12.5~14MPa
- 閥門：CGA580/590、QF-2、DISS
- 儲存：- 陰涼、干燥、通風(fēng)庫房，溫度≤30℃
- 遠離熱源、火源、氧化劑，嚴(yán)禁暴曬/撞擊
- 空/滿瓶分區(qū)存放，固定防傾倒
- 運輸：- 危險貨物編號：22033；UN1982；2.2類非易燃無毒氣體
- 輕裝輕卸，避免劇烈震動，防雨防潮
七、安全與防護
- 危險性：- 高濃度可窒息（缺氧）
- 高溫/電弧下分解產(chǎn)生有毒氟化物
- 鋼瓶高壓泄漏易凍傷、沖擊傷人
- 防護：- 強制通風(fēng)，佩戴正壓式呼吸器、護目鏡、防化手套
- 嚴(yán)禁明火、靜電、火花，防靜電服/工具
- 急救：- 吸入：移至新鮮空氣，吸氧，就醫(yī)
- 皮膚/眼接觸：大量清水沖洗≥15分鐘，就醫(yī)
- 泄漏處理：- 切斷氣源，強制通風(fēng)，人員撤離至上風(fēng)
- 高濃度區(qū)域禁入，回收/火炬焚燒處理
八、供應(yīng)與服務(wù)
- 現(xiàn)貨充足：4N~7N全規(guī)格，小批量試樣、大批量穩(wěn)定供貨
- 技術(shù)支持：提供MSDS、COA、工藝適配方案、專屬技術(shù)對接
- 物流保障：全國危險品物流，溫控/防潮/防震，安全準(zhǔn)時送達
關(guān)鍵字： carbon tetrafluoride;四氟化碳;75-73-0;
一般項目：化工產(chǎn)品銷售（不含許可類化工產(chǎn)品）；貨物進出口；技術(shù)進出口。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動） 許可項目：危險化學(xué)品經(jīng)營。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)） 自主展示（特色）項目：石油制品銷售（不含危險化學(xué)品）；專用化學(xué)產(chǎn)品銷售（不含危險化學(xué)品）；金屬材料銷售；油墨銷售（不含危險化學(xué)品）；涂料銷售（不含危險化學(xué)品）；化肥銷售；塑料制品銷售；國內(nèi)貿(mào)易代理；貿(mào)易經(jīng)紀(jì)。