四氟化碳(CF?)無色無味惰性氣體,化學穩(wěn)定性極強,絕緣性能優(yōu)良。廣泛用于半導體蝕刻、腔體清洗,也可作為低溫制冷劑、高壓設備絕緣介質(zhì)。溫室效應潛能較高,大氣存留時間長。本身低毒,但高溫分解會生成有毒氟化物,作業(yè)場所需強制通風,廢氣統(tǒng)一回收處理,禁止直接排放。
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