三氟化氮(NF?)是無色無味電子特種氣體,氧化性強,常溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。作為半導(dǎo)體干法清洗、刻蝕核心氣體,可清除晶圓腔體硅基殘留物,也用于液晶面板制造。溫室效應(yīng)潛能極高,大氣留存周期長,屬管控溫室氣體;高溫下可分解出有毒氟化物,操作需密閉排風(fēng)并回收廢氣。
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九月