六氟化鎢(WF?)是高純電子特氣,常溫為無(wú)色重質(zhì)氣體,沸點(diǎn) 17.5℃,遇水汽劇烈水解生成氫氟酸,劇毒且強(qiáng)腐蝕。是芯片 CVD 工藝核心前驅(qū)體,用于沉積鎢薄膜制作芯片鎢塞導(dǎo)電通孔,也用作氟化劑、X 射線電極涂層原料。儲(chǔ)運(yùn)全程干燥密閉,操作需全套耐腐防護(hù),嚴(yán)防遇水接觸。
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