適用場合
半導體晶圓制造廠:存放紫外光刻膠、深紫外光刻膠、電子束光刻膠等,維持涂布前的最佳流動性與感光特性。
集成電路設計及封裝實驗室:用于光刻膠、顯影液、增粘劑等配套試劑的日常恒溫儲存,便于取用。
高校與研究所微納加工平臺:為各類曝光實驗提供持續(xù)低溫保存條件,確保實驗批次間條件一致。
光學元件與顯示面板制造:在光刻工藝的物料準備區(qū),為光敏材料提供潔凈、控溫的存儲空間。
產(chǎn)品特點
恒定 2-8℃ 區(qū)間控溫:采用微電腦溫度控制系統(tǒng),數(shù)顯實時溫度,可在 2-8℃ 范圍內按需設定,溫度波動幅度小,長久運行溫度不易偏移,避免低溫析出或溫度過高導致光刻膠性能變化。
均勻溫場設計:通過優(yōu)化的風道循環(huán)或傳導均溫結構,箱內各層擱架之間溫差控制在一定范圍,減小因溫度不均引起的同一批次光刻膠狀態(tài)差異。
穩(wěn)定制冷與可靠防護:選用高效壓縮機,配合良好的箱體密封與保溫層,即使在頻繁開門取樣的工況下,也能較快恢復設定溫度;具備高低溫越限報警、開門延時提醒及傳感器故障提示,遇異??杉皶r響應。
潔凈易潔內腔:內膽采用耐腐蝕、易擦拭材質,不易殘留污漬及化學氣味;可調擱架承重穩(wěn)固,適合放置不同規(guī)格的光刻膠瓶、試劑瓶及樣品盒,合理利用內部空間。
低噪運行與便捷查看:運行音量較低,適合安置在實驗室操作臺旁或工藝準備間;配備透明玻璃視窗或箱內照明(以實際配置為準),無需開門即可觀察儲存物品概況,減少開門帶來的溫度干擾。
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