將原料甲醚液體用泵送至分子篩吸附塔，從分子篩吸附塔下部往上通過分子篩床層，停留時間為30分鐘。吸附過程在0.5MpaG、0℃下進行。經(jīng)過分子篩吸附處理，精制甲醚中含水降至0.001%。原料三氟化硼氣體進入低溫精餾塔，塔頂溫度控制在-105℃，壓力控制在O.1MpaG，經(jīng)精餾處理，精制三氟化硼從塔頂出來，不含氟化氫、四氟化硅等雜質(zhì)。

精制甲醚從上往下流過絡(luò)合反應器列管，精制三氟化硼氣體從下往上進入絡(luò)合反應器列管，甲醚和三氟化硼在列管的填料上進行絡(luò)合反應。絡(luò)合反應控制在0.6MpaG，溫度控制在-10℃。生成的絡(luò)合物用泵送往交換反應精餾塔。交換反應精餾塔真空度150mmHg，塔頂溫度為85℃，塔釜溫度為90℃。最終，在交換精餾塔達到交換反應和精餾平衡后，從塔頂?shù)玫?9%以上豐度的三氟化硼-11氣體，從塔釜得到豐度95%以上的三氟化硼甲醚-10同位素產(chǎn)品。

三氟化硼-甲醚絡(luò)合物化學交換精餾法的具體工藝是：將三氟化硼-甲醚絡(luò)合物直接加入到精餾塔中，在減壓的條件下加熱蒸餾，最終，三氟化硼-10在塔釜中濃縮，而三氟化硼-11從塔頂分離出來。該工藝具有流程簡單、操作簡便的特點。但由于從市場采購的三氟化硼-甲醚絡(luò)合物含水高，即使經(jīng)過脫水處理，三氟化硼-甲醚絡(luò)合物中含水仍高達0.01%—0.03%，由水而引發(fā)的副反應導致大量的副產(chǎn)物堵塞管道、換熱器等，且嚴重腐蝕設(shè)備，使生產(chǎn)無法連續(xù)穩(wěn)定進行。