7803-62-5
中文名稱
硅烷
英文名稱
Silicon tetrahydride
CAS
7803-62-5
分子式
H4Si
分子量
32.12
MOL 文件
7803-62-5.mol
更新日期
2026/05/27 08:42:29
7803-62-5 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
甲硅烷四氫化硅
硅烷
甲矽烷
RB-602硅烷偶聯(lián)劑
RB-902硅烷偶聯(lián)劑
英文別名
SILANESILICON TETRAHYDRIDE
flots100sco
Monosilane
SiH4
Silicane
Silicon hydride
Silicon hydride (SiH4)
tetrahydrure
tetrahydruredesilicium
Silaneinnitrogen
SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE
Silicon tetyahydride
SilaneGAS(Silicontetrahydride)
SILANE: 15-17% IN NITROGEN
15-17% IN NITROGEN
methylsilicane
Silicon tetrahydride (Silane)
Silane coupler RB-602
Silane coupler RB-902
所屬類別
有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無色氣體，有惡臭。
溶解性溶于苯、四氯化碳。
熔點-185 °C
沸點-112 °C
密度1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣密度1.1 (vs air)
蒸氣壓100kPa at 20℃
溶解度reacts with H2O; insoluble in ethanol,benzene
形態(tài)無色氣體
比重0.680
顏色colorless gas; flammable
氣味 (Odor)repulsive odor
水溶解性decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
用途用于集成電路制造、太陽能電池、涂膜反射玻璃等
用途用于制造集成電路、太陽能電池、涂膜反射玻璃等
Merck13,8562
暴露限值TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Silane (7803-62-5)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險
危險性描述H220-H280
危險品標(biāo)志F+,Xn
危險類別碼12-17-20
安全說明9-16-33-36/37/39
危險品運(yùn)輸編號UN 2203 2.1
職業(yè)暴露等級B
職業(yè)暴露限值TWA: 5 ppm (7 mg/m3)
WGK Germany1
RTECS號VV1400000
TSCAYes
REACH 注冊登記Active
DOT Classification2.1 (Flammable gas)
危險等級2.1
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)7803-62-5(Hazardous Substances Data)
常見問題列表
理化性質(zhì)
硅烷是指的是碳烷烴的硅取代類似物。構(gòu)成硅烷烴的是一條硅原子鏈接形成的主鏈和以共價鍵鏈接在主鏈上的氫原子。硅烷是具有特殊氣味的無色氣體，比空氣重。
應(yīng)用
四氫化硅廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、能源工業(yè)、玻璃工業(yè)、化學(xué)工業(yè)及高科技領(lǐng)域等多個行業(yè)和領(lǐng)域，其主要用做生產(chǎn)液晶 TFT、太陽能電池、半導(dǎo)體、感光體材料等。近幾年，由于我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，超大規(guī)?；虼笠?guī)模集成電路在國有很大的發(fā)展空間，這將使四氫化硅的消費(fèi)量日益增長。同時，由于太陽能市場的繁榮仍將持續(xù)，據(jù)預(yù)測，從2010年至2020年，全球四氫化硅市場將以年均20%的速率增長。四氫化硅是一種重要的特種氣體，是一個國家氣體產(chǎn)業(yè)是否先進(jìn)的重要標(biāo)志。我國作為經(jīng)濟(jì)迅速發(fā)展的大國，每年消耗的多晶硅將近4000噸左右，每年消耗的四氫化硅約為200～300噸，有較大的接觸人群。