CAS:7783-61-1,分子式 SiF?,常溫無色刺激性腐蝕性氣體,極易水解,遇水汽生成氟硅酸與二氧化硅白煙,強腐蝕玻璃設備。需蒙乃爾、PTFE 容器儲存,主要用于半導體硅外延、光纖制造、氟化化工原料,全程隔絕水分,操作配備耐酸堿防護,遠離堿類與活潑金屬。
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