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?四氟化碳使用注意事項

2022/4/15 11:38:43

四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。

Carbon tetrafluoride.png

用途

四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。 

注意事項

四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發(fā)用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。 

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