背景技術

隨著半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子束光刻膠的市場需求持續(xù)增長。對苯二酚單甲基丙烯酸酯系列樹脂單體產(chǎn)品是電子束光刻膠主體樹脂的重要組成部分，項目的研發(fā)成功可打破發(fā)達國家的技術封鎖，有助于我國系統(tǒng)地展開電子束光刻膠相關領域的研究并實現(xiàn)光刻膠材料的國產(chǎn)化，增強國際競爭力，維護國家戰(zhàn)略安全，具有較強的戰(zhàn)略意義。

對苯二酚單甲基丙烯酸酯系列產(chǎn)品由于其較好的透光性和光敏性廣泛用于電子束光刻膠，由于對苯二酚單甲基丙烯酸酯衍生物聚合時，丙酸苯類單體中的雙鍵極易聚合，而且，單體中的酸敏基團也容易分解，因此，對提純條件的要求十分苛刻，此產(chǎn)品目前在國內(nèi)市場幾乎沒有超凈高純質量要求的批量化產(chǎn)品。上游關鍵原材料的缺失，使國內(nèi)的光刻 膠研發(fā)成本大大提高，為解決目前國內(nèi)在光刻膠技術的空白，光刻膠成分的研發(fā)及應用迫在眉睫。但光刻膠原材料的供應問題仍然沒有解決，國內(nèi)沒有完整的光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈，開發(fā)制備超凈高純對苯二酚單甲基丙烯酸酯系列產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝用于國產(chǎn)光刻膠的研發(fā)應用中是非常有必要的。

制備方法

在裝有攪拌槳、冷凝管、溫度計的5L四口瓶中加入2946ml正己烷，開啟攪拌，加入對苯二酚55.1g，然后依次加入0.0072g阻聚劑對羥基苯甲醚和71.2g弱酸性離子交換樹脂， 調節(jié)pH值至4.5，降溫至?10℃，加入71.2g的甲基丙烯酸異丁酯，保溫反應4h，監(jiān)測反應進 程，取樣檢測反應完全后，加入800ml水，攪拌，萃取分相，得到有機相，經(jīng)過干燥后減壓濃縮蒸干，得到對苯二酚單甲基丙烯酸酯83.2g，收率93.31%[1]。

參考文獻

[1]河北凱諾中星科技有限公司. 一種電子束光刻膠用樹脂單體對苯二酚單甲基丙烯酸酯的合成方法:CN202411734480.4[P]. 2025-04-25.