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C12-15 鏈烷醇聚醚-2新聞專題

脂肪醇聚氧乙烯醚在晶圓表面的吸附作用及對Al化學作用的影響
脂肪醇聚氧乙烯醚在晶圓表面的吸附作用及對Al化學作用的影響
脂肪醇聚氧乙烯醚優(yōu)先吸附晶圓形成滯留層,多晶硅吸附量高致其去除受抑而提升鋁/硅選擇比,并阻礙氧化劑接觸鋁表面,使鋁化學作用減弱。
2025/11/28 9:50:08 閱讀量:334
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