二碘硅烷新聞專題
二碘硅烷的合成與應(yīng)用
二碘硅烷是易燃含碘硅烷，核心用作半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積的低溫硅前驅(qū)體，適配多類基材，契合芯片超微型化制程需求，有多條合成路徑，也可作有機(jī)合成碘化試劑。
2026/5/5 8:00:22
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二碘硅烷的應(yīng)用及分解機(jī)制
二碘硅烷易揮發(fā)適配CVD，是制備3DOM/m C/Si鋰電負(fù)極材料的前驅(qū)體。其在CVD中經(jīng)歧化、硅烷分解、四碘化硅還原及碘化氫分解副反應(yīng)，使硅納米顆粒選擇性填充碳介孔。
2025/10/15 10:13:32
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