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雙(二乙基氨基)硅烷新聞專題

一種雙(二乙基氨基)硅烷的精制方法
一種雙(二乙基氨基)硅烷的精制方法
本文介紹了一種由雙(二乙基氨基)硅烷精制得高純度雙(二乙基氨基)硅烷的方法,該方法可以得到體積分?jǐn)?shù)99.999%的產(chǎn)品。
2024/2/26 9:07:55 閱讀量:649
雙(二乙基氨基)硅烷的應(yīng)用
雙(二乙基氨基)硅烷的應(yīng)用
雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法,在由氯硅烷與二烷基胺的反應(yīng)而合成的方法中,除了目標(biāo)二烷基氨基硅烷以外,還大量副產(chǎn)二烷基胺的鹽酸鹽,因此在獲得目標(biāo)二烷基氨基硅烷時(shí),需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低,從而廉價(jià)地大量制造。 作為使二烷基胺與氯硅烷反應(yīng)時(shí)的溶劑,使用對(duì)于反應(yīng)中所副產(chǎn)的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質(zhì)子極性溶劑,及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴,藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。
2020/10/25 9:01:40 閱讀量:5979
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